关键物性
测试值
介电常数
0.1-10MHz
2.66
介电损耗
0.0007
CTE
(ppm/°C)(25℃)
64
热稳定性
℃
Tg>370℃
350℃ 200min失重 1.5wt%
弹性模量
Gpa
5.3
硬度
Gpa 18.2℃
0.4
吸水率
wt%
0.16
金属离子含量
Na<0.3ppm,K<0.1ppm,Cu<0.1ppm,Fe<0.1ppm
杂质颗粒物数量
≥0.5μm颗粒物，4英寸硅片<20个
折射率
（630 nm）
1.56
