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BCB配套衍生品

BCB配套衍生品

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名称

型号

用途

特性

   表面粘附力增进剂

NF-3000

提高BCB与基底之间的粘附性。

增强BCB与基底(如硅、玻璃、InPInGaAs等)之间的粘附力,防止脱层或界面空洞。

   树脂清洗剂

QX-1100

清除BCB边缘残留,防止污染。

清除BCB旋涂后边缘残留或溢出胶层,防止污染键合机台或后续工艺区域。用于非光敏BCB光刻或键合前的清边处理,尤其适用于圆片级封装工艺。

负性树脂专用显影液

XY-D1353

负性BCB树脂在曝光后发生交联,形成难溶的固化结构;未曝光区域则保持可溶性,显影液将其选择性溶解去除,从而实现图形转移。

对未曝光BCB具有高溶解度,对曝光区域几乎不溶,确保高对比度图形。


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