名称
型号
用途
特性
表面粘附力增进剂
NF-3000
提高BCB与基底之间的粘附性。
增强BCB与基底(如硅、玻璃、InP、InGaAs等)之间的粘附力,防止脱层或界面空洞。
树脂清洗剂
QX-1100
清除BCB边缘残留,防止污染。
清除BCB旋涂后边缘残留或溢出胶层,防止污染键合机台或后续工艺区域。用于非光敏BCB光刻或键合前的清边处理,尤其适用于圆片级封装工艺。
负性树脂专用显影液
XY-D1353
负性BCB树脂在曝光后发生交联,形成难溶的固化结构;未曝光区域则保持可溶性,显影液将其选择性溶解去除,从而实现图形转移。
对未曝光BCB具有高溶解度,对曝光区域几乎不溶,确保高对比度图形。